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氮化硅粉體燒結爐
產品介紹
高端氮化硅粉體燒結爐具有H
2
安全保護、防竄氣技術 、多段溫度曲線設定,多種氣體流量自動精準控制(無需人工調節)、脈沖式充氣、氣體循環控溫、發熱體衰減檢測、發熱體漏電監測、全面故障自診斷等功能。主要用于高端氮化硅粉料的生產
。
產品參數
裝料空間(W*H*L)
500*500*1800
最高溫度
1600℃
最高工作壓力
0.9bar
極限真空度
0.5pa
真空泄漏率
≤5×10
-3
mbarl/s
真空泵組
旋片泵+羅茨泵
升溫速率
(滿載、≥1500℃)
≥8℃/min
溫度均勻性
≤±4℃
具備功能
真空燒結、靜態燒結、氣氛燒結、急速冷卻
工藝氣體種類
H
2
N
2
Ar
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